SMEE yangi avlod quruq litografiya uskunalarini ko'rsatdi

Xitoyning SMEE kompaniyasi I-line va KrF jarayonlarini qo'llab-quvvatlovchi yangi avlod quruq litografiya uskunalarini namoyish etdi.

Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) kompaniyasi 9-Xitoy xalqaro import tovarlari ko'rgazmasida yangi avlod quruq litografiya uskunalarini taqdim etdi. Ushbu qurilmalar yarimo'tkazgich uskunalarini ishlab chiqarish sohasida mahalliy texnologiyalarga o'tish dasturi doirasida yaratilgan. Ayni paytda kompaniya yechimlari Xitoydagi mantiqiy hamda xotira mikrosxemalarini chiqaradigan zavodlarda qo'llanilmoqda.

Texnik imkoniyatlar va mahalliy qismlar

Yangi platforma kompaniyaning o'z standartlashtirilgan arxitekturasi asosida qurilgan bo'lib, I-line va KrF texnologik jarayonlarida ishlay oladi. Ishlab chiqaruvchi barcha asosiy qismlar yaratilishi va yetkazib berilishi to'liq o'z nazoratida ekanini ma'lum qildi. Uskunaning muhim tarkibiy qismlari quyidagilarni o'z ichiga oladi:

• yuqori aniqlikdagi optik tizimlar;
• plastinalar va niqoblarni joylashtirish mexanizmlari;
• materiallarni tashishga mo'ljallangan avtomatlashtirilgan majmualar.

SMEE ma'lumotiga ko'ra, yangi qurilmalarning sifati yetakchi xorijiy muqobillar darajasiga tenglashgan. Qatlamlarni ustma-ust tushirish aniqligi va ishlash tezligi ham xalqaro ko'rsatkichlarga yaqinlashgan. Uskunalar turli texnologik jarayonlarda barqaror ishlaydi hamda ishlab chiqarish liniyalarida uzoq muddat foydalanish uchun mos keladi.

Ishlab chiqarishdagi natijalar

Kompaniya o'z litografiya mashinalari Xitoy korxonalarida keng qo'llanilayotganini qayd etdi. Bunday qurilmalarda qayta ishlangan kremniy plastinalarning umumiy hajmi 10 million donadan oshgan. Uskunalarning samarali unumdorlik ko'rsatkichi esa 92 foizdan yuqorini tashkil etadi.

2002-yilda tashkil etilgan SMEE bugungi kunda quruq litografiya uskunalarini seriyali tarzda ishlab chiqarish va yetkazib berish imkoniyatiga ega bo'lgan yagona Xitoy kompaniyasi hisoblanadi.